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它是一款多功能型数字质量流量控制器，适用于各种行业和应用，具有从 10 SCCM 到 1000 SLM 的广泛流量控制范围，并可选择从数字到模拟、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™ 和 EtherCAT® 的通信方法。 它还具有 ± 1.0% SP 的高精度、1 秒内的全范围高速响应以及多量程/多气体功能。
配备了允许用户更改气体类型和流量范围的功能。
± 1.0% S.P. 的高精度，满量程 1 秒内快速响应，5 SCCM 至 500 SLM 的宽范围。 通信方式可从数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通信中选择。 它是一种质量流量控制器，不仅适用于高级工艺，也适用于各种制造工艺。
数字通信
・RS-485 F-Net 协议
模拟通信
・0~5VDC 直流
CC-Link® 通信
模拟通信
・0~5VDC 0~10VDC
・4~20mA
Profibus 通信
模拟通信
・0~5VDC 0~10VDC
・4~20mA
Profibus 标准
24伏直流（13~32VDC）
EtherCAT 标准
24VDC +/-4V
通信方式
驱动电源
产品类型
±15VDC（±5%）※
SEC-N102 系列
DeviceNet 设备网TM通信
ODVA 标准
SEC-N104 系列
24伏直流（13~32VDC）
SEC-N105 系列
SEC-N106 系列
EtherCAT® 通信
SEC-N107 系列
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