HORIBA掘场RP-1掩模版/掩模/晶圆异物去除器
HORIBA掘场RP-1掩模版/掩模/晶圆异物去除器
通过吹气和真空抽吸自动去除异物 粘附在
掩模罩上的异物空气（或 N）2通过吹气和真空抽吸自动去除。 在暴露前的日常作中，每次都要去除异物，通过延长薄膜的更换和口罩的清洁周期，有助于降低运行成本。
当玻璃表面的异物被去除时（20 μm 硼硅酸盐珠去除率数据）
在这种情况下，它很有用。
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它减少了作员的日常工作并防止人耳破裂。
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它消除了人工作并防止静电放电损坏。
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通过在掩模存放之前和之后去除掩模的使用寿命，以延长掩模的使用寿命。
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结合 PR-PD 系列异物检查设备，可以检查去除异物后的标线/面罩的状况。
北崎8年，日本会社20年，专注领域如下：
仪器相关：
山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）
备件设备相关：
柴田SIBATA(代理）、 壶坂TSUBOSAKA（代理）、雅马拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口电热SAKAGUCHI（代理）、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（厂家合作）、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN
光源相关：
岩崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰写速CCS（代理）、莱宝克斯REVOX（代理）、索莱克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE
电气控制：
SIEMENS西门子（厂家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON欧姆龙（厂家合作）、基恩士KEYENCE（厂家合作）
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