HORIBA掘场CS-1000 化学品监控器北崎国际-仪器仪表交易网

HORIBA掘场CS-1000 化学品监控器北崎国际

化学溶液中所含的 ppm 水平※2无需预处理即可检测痕量成分。一体化系统集成在一个单独的机柜中，只需安装在车间即可使用※3。

*1 后端生产线的缩写，指的是半导体前端
工艺的布线形成过程*2 以 1/1,000,000 为单位的比率的概念。对于液体成分，1 ppm 意味着 1 公斤液体中含有 1 毫克目标成分。
*3 SEMI S2

可以检测到 ppm 级的痕量成分

除了提高分光光度计的性能（扩长范围和提高分辨率）外，现在还可以通过结合 pH 计和电导率计的信号进行处理来检测 ppm 级的痕量成分。

可以同时测量两种不同类型的化学品

仪器内部固定了两个样品流路。通过完全分离流路，可以同时测量两种不同类型的化学品。

每半年一次，维护 4 小时

使用具有自动校准功能的 pH 计。维护就像更换吸光度计的灯和更换 pH 计的内部液体和校准溶液瓶一样简单。

产品名称	化学品监控系统
型	CS-1000 型
测量项目	化学浓度、电导率、pH 值
测量原理	吸收光谱、双极导电、玻璃电极
目标化学品	半导体制造工艺中使用的多组分化学品（详情请联系我们）
外形尺寸	700 （W） × 610 （D） × 1640 （H） mm（不包括突出部分）
质量	约 200 公斤
接液材料	柜式（PFA、PTFE）分光光度计（PFA、PTFE、石英、Kalrez™）电导率仪（PFA、碳、Kalrez™） pH 计 - 排水（PVC、PTFE、玻璃、ETFE、PEEK、烯烃树脂、THV、PFA、 Kalrez™， PharMed BPT） *Karlez™ 是 DuPont de Nemours， Inc. 的商标。
标准	CE ， KC ， FCC 规则 Part15 ， UKCA ， SEMI S2

可滚动

环境温度	20~30 °C（室温无突然变化，±0.5 °C/1 小时以内）
环境湿度	40~70%RH （无冷凝）
权力	AC 190~240V（单相），50/60Hz
功耗	约 355 VA（不包括启动时的瞬态电流）
通信	模拟输出：4-20mA，串行输入/输出：RS-485 Modbus（RTU），并行输入/输出 * 但是，当测量值未更新时，例如设备异常时，它固定为 1.5mA。

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消耗品	由客户或我们的服务工程师更换零件卤素灯（使用寿命约 1 年）氘灯（使用寿命约半年）试剂 pH 4（符合 JIS 标准）、pH 7（符合 JIS）、KCl（3.33 moL AgCl 饱和液体）（更换周期：约半年）

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