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HORIBA掘场CS-620F 光纤热磷酸盐浓度监测仪北崎国际
HORIBA掘场CS-620F 光纤热磷酸盐浓度监测仪北崎国际
半导体制造工艺，主要是 3D NAND 闪存的 SiN 层※1它是控制蚀刻过程中所用磷酸浓度的理想选择。
由于无需冷却即可直接测量循环管路中的高浓度（高达 92%）和高温磷酸 （140-170°C），因此无需冷却机构和冷却时间。
在样品连接处使用 PFA 可降低污染风险。
实时测量每 3 秒更新一次测量数据，实现更快的浓度反馈控制。
采用半年一次的背景校正周期减少了设备停机时间。
该磷酸浓度监测仪无需冷却即可实时测量高温磷酸。
*1 SiN 层：在硅晶片上形成的硅和氮化合物的薄膜。
高浓度、高温
低污染风险
实现更快的反馈控制
减少设备停机时间
产品名称
化学品浓度监测仪
型
CS-620F 系列
测量原理
吸收光谱
浓度计算原理
温度补偿多变量分析方法
测量目标
H3采购订单4/小时2O
测量范围和
重复精度
成分名称
测量范围 （mass%）
重复精度 （mass%）
模拟输出范围 （mass%）
*种化学溶液
H3采购订单4
85.00-92.00
+/-0.10
85.00-100.00
H2O
8.0-15.0
+/-0.3
0.0-15.0
・再现性精度由平均值的*误差（1 小时）。
・对于相同的化学溶液，在化学温度范围 （140-170 °C） 内可能会出现高达 +/- 0.3% 的*参考值差异。
测量条件
1） 测量间隔：约 3 秒
2） 移动平均：16 次
连接配件尺寸
1 英寸或 3/4 英寸
测量液体条件
化学温度：140-170°C 化学
温度变化、环境温度变化±1°C（1小时）以内 输入
压力：0.2MPa以下
压力波动：0.02MPa以下
流量：1-30L/min
仪表空气（作和吹扫）
配合：4 mm 外径快速配合
压力：0.2 MPa ± 0.02 MPa
权力
100-230 V AC（单相）、50/60 Hz
功耗
约 85 VA（不包括启动瞬态电流）
通信协调
并行 I/O、RS-232C、模拟输出
外形尺寸
（显示器本体） 200 （W） X308 （D） X78 （H） mm （不包括突起部分）
（光源单元） 200 （W） X262 （D） X100 （H） mm （不包括突起部分）
（样品池） 240 （W） X209 （D） X205 （H） mm （不包括突起部分）
质量
（显示器本体） 约 3.6 kg
（光源单元） 约 2.8 kg
（样品池） 约 3.0 kg
安装温度
（监视器和光源单元通用） 20-30°C
（光纤、样品池） 20-100°C
* 室温无突然变化，± 1 °C / 1 小时内
安装 相对湿度
40-70 % （非冷凝）
安装倾斜角度
（显示器和光源单元通用） ± 1° 以内（
样品池） 安装池，使其向上流动，使气泡不会停滞
光纤
标准长度 5 m，*小弯曲半径 150 mm
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