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HORIBA化学药液浓度计CS-700改进 HORIBA 的光谱测量技术测量性能提升高达 5 倍

发布时间:2025/02/13 14:36:01 发布厂商:北崎国际贸易(北京)有限公司 >>


CS-700

High Precision, High Stability Chemical Concentration Monitor CS-700

高精度、高稳定性化学药液浓度计

HORIBA CS-700 化学药液浓度计能够对*半导体制程中使用的复杂化学药液的单个化学成分进行高性能测量。
通过改进 HORIBA 的光谱测量技术,CS-700 测量性能提升高达 5 倍。
提供增强的质量控制,改进半导体制程。

事业部: 半导体
产品分类: 湿法过程控制
制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

Measurement Range and Repeatability

Unit : mass%

  Component Measurable range Repeatability
1st solution HNO3 30.0 - 34.0 ±0.5
HF 2.00 - 4.00 ±0.10
H3PO4 35.0 - 39.0 ±0.6
H2SiF6 0.00 - 3.00 ±0.50
H2O 25.0 - 33.0 ±1.0
scrollable

Conditions of measurement
1) Measurement interval: approx. 8 sec.
2) Moving average time :10 times
3) Atmospheric temperature, chemical temperature fluctuation: within +/- 1 degree C (period of time: 1hour). Sudden temperature change should be avoided
4) Condition of sample temperature: 20 to 30 degree C

  • Repeatability is the maximum deviation from average measured value over a 1 hour continuous measurement period.
  • The values in the above table are assigned analog output values between 4 - 20 mA. (makimum resistance of 500Ω)

Specifications Comparison with Previous Model

 

item CS-100 CS-700
Measurement principle Absorption spectroscopic method Absorption spectroscopic method
Sample temperature 20 to 30 Degree C 20 to 30 Degree C
Ambient temperature 20 to 25 Degree C 20 to 30 Degree C
Components Max. 4 components Max. 8 components
Chemical range Max. 4 ranges Max. 6 ranges
Communication Parallel I/O, Analog output, RS-232C Parallel I/O, Analog output, RS-232C
Analog output
(4-20 mA)
Max. 2 components Max. 6 components
Dimension 205(W) X 329(D) X 269(H)mm 218(W) X 391(D) X 213(H)mm
Power source DC 24V DC 24V(Same connecter of CS-100)
Consumable parts Halogen lamp Halogen lamp (Same as CS-100 type)
Wavelength UV/NIR UV/NIR
Wetted material PTFE, PFA, Sapphire or Quartz, PTFE, PFA, Sapphire,
Kalrez 4079 O-ring
scrollable

Schematics

适合控制化学药液的单个成分。
  • 实时、高性能检测多达 8 种组分
  • 无需试剂,零样品消耗,降低拥有成本
  • 安装简单,即装即用

HORIBA化学药液浓度计CS-700
化学药液浓度计能检测多达 8 种组分
HORIBA日本堀场

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