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电容式位移传感器 ZNXsensor测量显微镜移动平台的微量位移

价格
电议

型号
ZNXsensor

品牌

所在地
深圳市

更新时间
2019-03-01 02:00:03

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               电容式位移传感器ZNXsensor测量显微镜移动平台的微量位移

     

        无论是生物工程中的细胞操作、或光电子器件的加工还是采用电子显微镜进行纳米操作尽管其精度要求各不相同但在硬件装备中均有一项共性的关键技术那就是要解决载物台或其相应设备的高精度的自动测量和定位。要实现这项关键技术高精度控制系统是非常重要的。搭建了一种闭环控制系统用于控制某特性显微镜工作台。传感器的使用是闭环控制中必不可少的一环，的精度决定着系统的精度。

     

     

    显微镜移动台在移动停止后会有一定的反弹，平台移动的的位移量有几毫米，但反弹量很微小，但反弹量决定了平台的移动精度。可以使用电涡流传感器测量平台的较大范围的移动，使用ZNXsensor测量反弹的微小位移。

     

     

     

    ZNXsensor是一种非接触式的；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不同的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。

     

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