GS-3813小野传感器，GS-3813数字式传感器，GS-3813位移传感器

GS-3813 / GS-3830是サブミクロンリニアゲージセンサ虽然有，耐久性的轴承和IP 66 G的防尘·防水滴性能，具有自动机进行联机的测量对应了的高分辨率线性规传感器。

球花键轴承采用新光学系的开发，高分辨率和耐环境性能的两立成为可能了。

矩形波输出（线驱动器输出）检测信号能取出，所以PLC直接连接到。

GS-3813小野传感器特长

■原产品相比更加精密测量

（分辨率10倍1μm→0.1μm

■原产品相比3倍的轴承寿命

（测量动作500万次→1500万次）

■原产品相比，被强化的耐尘埃，耐水性能，防油

（保护构造IP 64→IP 66 G）

■原产品相比2倍的耐振动冲击性能

（耐振动98 m / s2，耐冲击980 m / s2→耐振动196 m / s2，耐冲击1960米/秒）2

レーザ機器用ガラス部品などは、研磨加工工程で接触式高精度リニアゲージで寸法検査をし、中間工程での精度を確保し、終工程の光学検査工程へ送ります。

高精度リニアゲージセンサを使用し、1µm の精度でシリコンウェーハの厚さを測定します。４インチ以下の小さなウェーハでは ST-0230 ゲージスタンドを利用できます。

シリコンウェハのように反りがある板状材料の厚さを高精度に測定します。反りの影響を受けない様にするため、GS-3813 ゲージセンサの測定子が当たる部分を「凸レンズ」で受け、その他４点をピンで支える構造を持った特殊スタンドを使用します。
GS-3813 ゲージセンサの測定子中心と凸レンズ中心を合わせることで、反りの影響をほとんど受けずに厚さを測定することが出来ます。測定データは RS-232C インタフェース経由でパソコンに取り込むことで、統計処理等の２次処理が行なえます。

概略仕様