原装进口ENTEGRIS恩特格里斯 WGMXMBSS2 在线气体过滤器
原装进口ENTEGRIS恩特格里斯 WGMXMBSS2 在线气体过滤器
原装进口ENTEGRIS恩特格里斯 WGMXMBSS2 在线气体过滤器
Wafergard® MAX 在线气体过滤器
它为高纯度气体应用提供了*的颗粒去除性能。 Wafergard® MAX 在线气体过滤器是业界*的高纯度气体应用过滤器。 全氟聚合物滤芯适用于高纯度气体以及一般氮气和 CDA 应用。
用于高纯度应用的含氟聚合物滤芯
适用于高流速和低压力波动的应用
与惰性和高反应性气体（如臭氧）兼容
经过预处理，可快速启动（仅限银色型）
Wafergard® MAX 在线气体过滤器应用工艺设备气体面板
VMB
气缸柜低压侧
原料气供应管线
技术规格
产品规格材料 滤芯 PFA 载体 / PTFE 膜
住房 低硫 316L 不锈钢
内表面粗糙度 Bronze Plus 和 Silver Ra < 0.17 μm
He 泄漏箱 1 x 10-10 帕米3/秒
颗粒清洁度 粒子 0.01 μm 或更大的颗粒为 0.03 pcs/L 或更低
排放气体（银型） H2O，THC 低于 10 ppb
粒子捕获速率 大于 0.0015 μm 的颗粒，99.9999999% @ 20°C，101kPa
使用条款 *工作压力 1 MPa 以下（日本）
*允许正压差 0.7 MPa
*允许反向压差 0.25 MPa
*工作温度 20°C
流量 查看我们的性能数据
型号Wafergard® MAX 在线气体过滤器型号型号接头尺寸和类型长度
WGMXMBPRF2 入口 6.35 mm （1/4“） VCR® 公头，出口 6.35 mm （1/4”） VCR® 母头 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 6.35 毫米（1/4 英寸）VCR® 兼容公头 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 12.7 毫米（1/2 英寸）VCR® 兼容公头 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 兼容 6.35 mm （1/4“） Swagelok® 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 兼容 9.52 mm （3/8“） Swagelok® 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGMXMBSS4 兼容 12.7 mm （1/2“） Swagelok® 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 6.35 毫米（1/4 英寸）VCR® 兼容公头 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 12.7 毫米（1/2 英寸）VCR® 兼容公头 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 兼容 6.35 mm （1/4“） Swagelok® 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 兼容 9.52 mm （3/8“） Swagelok® 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGMXMPSS4 兼容 12.7 mm （1/2“） Swagelok® 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 6.35 毫米（1/4 英寸）对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 9.52 毫米（3/8 英寸）对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2“ 对焊管件 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 6.35 毫米（1/4 英寸）VCR® 兼容公头 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 12.7 毫米（1/2 英寸）VCR® 兼容公头 127 毫米（5.00 英寸）
