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HORIBA堀场PV-1000压电阀北崎供应
HORIBA堀场PV-1000压电阀北崎供应
压电阀
这是一种快速响应阀，用于使用来自外部设备的控制信号来控制气体流量或压力。 金属隔膜和金属 O 形圈。 气体接触部分采用全金属结构，洁净。 不仅可以控制气体的流体，还可以控制液体的流体。
电路使用高精度压力传感器和高分辨率和快速响应的压电阀。 可通过各种外部信号远程控制，压力自动调节。
由于气体接触部分采用全金属，死体积*小，因此非常适合腐蚀性气体和低蒸气压气体。
| PV-1000 系列 | |
|---|---|
| 流量范围 |
CCM 1/2/5 LM（入口大气压，出口真空，N2转换） |
| 流量控制范围 | 满量程的 2% 至 * |
| 阀门方式 | 常开/常闭型 |
| 控制输入 1 | 0〜5VDC 直流电 |
| 反应 | 0.5 秒内 |
| 工作温度 | 0〜50°C |
| 工作压力 | * 300kPa |
| 压力 | 1MPa |
| 泄漏标准品 | 5×10-12帕米3（他） |
| PV-2000 系列 | |
|---|---|
| 流量范围 | 10/20 LM （入口大气压、出口真空、N2转换） |
| 流量控制范围 | 满量程的 2% 至 * |
| 阀门方式 | 常开/常闭型 |
| 控制输入 1 | 0〜5VDC 直流电 |
| 反应 | 0.5 秒内 |
| 工作温度 | 0〜50°C |
| 工作压力 | * 300kPa |
| 压力 | 1MPa |
| 泄漏标准品 | 5×10-12帕米3（他） |
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