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HORIBA掘场CS-100F1光纤化学浓度监测仪北崎国际

发布时间:2025/02/12 14:16:20 发布厂商:北崎国际贸易(北京)有限公司 >>

HORIBA掘场CS-100F1光纤化学浓度监测仪北崎国际

HORIBA掘场CS-100F1光纤化学浓度监测仪北崎国际


这是一款光纤化学浓度监测仪,可实现对半导体制造过程(如清洗和蚀刻)中使用的化学品的在线实时测量。

可以进行在线实时测量。 使用单个浓度监测仪可以同时测量多达四种类型的化学品(化学溶液或范围),使其适合使用单槽和单晶片清洁设备进行测量。

 

化学浓度

交流无电源 (100~240V)传输功率触点输出RS-232C 系列

多重监控

使用单个浓度监测仪*多可测量 4 种浓度(化学溶液或范围)。

测量周期短,响应时间短

支持 300 mm 过程的浓度控制,测量周期约为 3 秒。 除了多槽清洗外,我们还支持单槽和单晶片清洗设备的精细浓度管理。

2 种类型可供选择

您可以选择强调实时浓度跟踪并直接集成到主管中的在线单元类型,也可以选择强调稳定性并可以使用监视器输出的反馈进行控制的单元类型。

CS-151F1 系列 CS-152F1 系列 CS-150F1 型
测量目标 SC-1
(氨/水中的过氧化氢)
SC-2
(盐酸/水溶液中的过氧化氢)
SPM
(硫酸/水中的过氧化氢)
一台设备*多可进行 4 种类型(化学溶液或范围)的多重监控。
测量原理 吸收光谱
浓度计算原理 温度补偿多变量分析方法
测量范围
(质量百分比)
新罕布什尔州3
0.00%〜1.00%
H
2O2
0.00%〜5.00%
H
2O:
94.0%〜100.0%
盐酸:
0.00%〜2.00%
H
2O2
0.00%〜2.00%
H
2O:
96.0%〜100.0%
H2所以4
70.0%〜96.0%
H
2O2
0.00%〜10.00%
H
2O:
4.0%〜30.0%
重现
性准确度(室温变化± 1°C 以内)(
质量百分比)
新罕布什尔州3:±0.15%
H
2O2:±0.30%
H
2比例:±1.5%
碳酸盐含量:±0.15%
H
2O2:±0.15 %
H
2比例:±1.5%
H2所以4:±0.50%
H
2O2:±0.50%
H
2比例:±1.5%
样品液体温度 20 至 80°C(使用在线单元)
20 至 30°C(使用单元)
测量周期 约 3 秒
液晶显示部分
显示和输入内容
・第 1 组件:浓度测量 (%)
・第 2 组件:浓度测量 (%)
・第 3 组件:浓度测量 (%)
・第 1 和第 2 组件:浓度警报状态
・错误代码
・并联浓度警报输出禁用
・串行/并联状态
・背景校正信息
串行输入
RS-232C
- 串行/并联状态切换
- 测量数据传输请求
- 设置第 1 组分和第 2 组分浓度警报值
- 并联浓度警报输出状态(启用/禁用)
・测量目标化学品切换
并行输入 带光耦合器隔离的电压输入(12 至 30 VDC)
・并联浓度警报输出
・待测
化学溶液的切换 ・背景校正
并行输出 带光耦合器隔离的集电极开路输出 ON时
的*电流:5 mA DC(无内部保护电阻)
OFF时的*点火电压:30 VDC
・4种*成分浓度警报
- 4种第二成分浓度警报
・设备异常
・正在进行

・被测
化学药剂种类 ・本底校正状态
化学温度输入 接线端子(端子螺钉 M3)
・铂电阻温度计检测器:Pt100(Pt 传感器必须由客户准备。 )
模拟输出 ・ 4 种类型的第 1 组分浓度警报:4 至 20 mA
・ 4 种类型的第 2 组分浓度警报:4 至 20 mA
* 我们可以处理测量范围规格以外的其他业务。 请在订购时注明。
光纤 CS-100F1 系列光纤 (安装温度 25±15°C)
样品池 我们为所需的化学类型提供各种样品池(在线样品池和样品池单元)。
权力 AC 100V 至 230V(单相) ± 10%,50/60Hz,约 100VA
外形尺寸 205 (W) × 329 (D) × 269 (H) mm(不包括突出部分)
质量 约 11 公斤
可滚动

<注> 除上述化学品类型外,请单独与我们联系。

 

尺寸等(单位:mm)

HORIBA掘场CS-100F1光纤化学浓度监测仪北崎国际


HORIBA掘场
CS-100F1
光纤化学浓度监测仪

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